انجام پروژه کامسول درجه حرارت پایین با ماژول پلاسما | انجام پروژه با نرم افزار comsol
انجام پروژه کامسول ماژول پلاسما برای مدل سازی و شبیه سازی منابع پلاسما و دمای پایین پلاسما طراحی شده است.
دانشجویان از آن برای به دست آوردن اعتبارسنجی های مدل های پلاسما بهره می برند. کامسول پروژه توانسته این پروژه را در 1بعدی و 2 بعدی و 3بعدی طراحی و مدلسازی ساختاری کند ، شبیه سازی های پلاسما سیستم های پیچیده ای هستند که میزان غیرخطی بالایی دارند.
تغییرات کوچک در ورودی الکتریکی یا شیمیایی پلاسما می تواند منجر به تغییرات قابل توجهی در خصوصیات تخلیه شود.
پلاسما – یک سیستم مولتی فیزیک در کامسول| انجام پروژه با نرم افزار comsol
پلاسماهای درجه حرارت پایین آمیختگی مکانیک سیالات ، مهندسی واکنش ، سینتیک ، انتقال حرارت ، انتقال جرم و الکترومغناطیسی – به عبارت دیگر سیستم مولتی فیزیک قابل استفاده است. ماژول پلاسما یک ابزار تخصصی برای مدل سازی تخلیه های غیر تعادلی است که در طیف گسترده ای از رشته های مهندسی رخ می دهد. ماژول پلاسما از مجموعه ای از رابط های فیزیکی تشکیل شده است که به سیستم های دلخواه اجازه مدل سازی می دهند. اینها از مدل سازی پدیده هایی مانند: تخلیه جریان مستقیم ، پلاسماهای القایی همراه و پلاسماهای مایکروویو پشتیبانی می کنند.
انجام پروژه تخلیه مستقیم جریان با کامسول پروژه| انجام پروژه با نرم افزار comsol
رابط فیزیک تخصصی برای مدل سازی تخلیه جریان مستقیم (DC) ، که از طریق انتشار الکترون ثانویه در کاتد به دلیل بمباران یونی پایدار هستند . در دسترس است. رابط ورودی های مدل را امکان پذیر می کند. و معادلات و شرایط اساسی برای مدل سازی این پدیده را در بر می گیرد. الکترون های خارج شده از کاتد از طریق ناحیه سقوط کاتد به بخش عمده پلاسما تسریع می شوند. آنها ممکن است انرژی کافی برای یونیزه کردن گاز پس زمینه را بدست آورند. و یک جفت یون الکترونی جدید ایجاد کنند.که می توان این کار را با انجام پروژه با نرم افزار comsol صورت بگیرد. الکترون مسیر خود را به آند می رساند. در حالی که یون به کاتد می رود و در آنجا می تواند یک الکترون ثانویه جدید ایجاد کند. بدون احتساب انتشار الکترونیکی ثانویه ، امکان تخلیه DC وجود ندارد.
مایکروویو پلاسما با کامسول پروژه| انجام پروژه با نرم افزار comsol
شما می توانید از رابط پلاسما مایکروویو برای مدل سازی تخلیه های گرم شده موج استفاده کنید. که پایدار است وقتی الکترون ها در اثر نفوذ به پلاسما می توانند. انرژی کافی از یک موج الکترومغناطیسی کسب کنند. فیزیک پلاسما مایکروویو بسته به اینکه حالت TE (میدان الکتریکی خارج از هواپیما) یا حالت TM (میدان الکتریکی درون هواپیما) در حال پخش است. کاملاً متفاوت است.
در هیچ حالتی امکان پذیر نیست که موج الکترومغناطیسی به مناطقی از پلاسما نفوذ کند. که در آن چگالی الکترون از چگالی الکترون بحرانی بالاتر رود (حدود 7.6×1016 1 / m3 برای آرگون در 2.45 گیگاهرتز).
پلاسماهای رزونانس الکترون
دامنه فشار برای پلاسماهای مایکروویو بسیار گسترده است. برای پلاسماهای رزونانس الکترون سیکلوترون (ECR) ، فشار می تواند. به ترتیب 1 Pa یا کمتر باشد. برای پلاسماهای غیر ECR ، فشار به طور معمول از 100 Pa تا فشار اتمسفر متغیر است. این نیرو می تواند از چند وات تا چند کیلووات متغیر باشد. پلاسماهای مایکروویو به دلیل ارزان بودن توان مایکروویو محبوب هستند. رابط پلاسما مایکروویو هم به ماژول پلاسما و هم به ماژول RF احتیاج دارد.
انجام پروژه کامسول پلاسما در هر دمایی می تواند شبیه سازی شود
پلاسماهای همراه با القاء (ICP) برای اولین بار در دهه 1960 به عنوان پلاسماهای حرارتی در تجهیزات پوشش مورد استفاده قرار گرفت. این دستگاه ها با سفارش 0.1 اتمسفر تحت فشار عمل می کردند. و دمای گاز را به سفارش 10،000 K. تولید می کردند. در دهه 1990 ، ICP در صنعت پردازش فیلم به عنوان روشی برای ساخت ویفرهای نیمه هادی بزرگ تبدیل شد. این پلاسماها در رژیم کم فشار ، از 0.002-1 torr عمل می کردند. و به عنوان یک نتیجه ، دمای گاز نزدیک به دمای اتاق است.
ICP های کم فشار
ICP های کم فشار جذاب هستند زیرا تراکم پلاسما نسبتاً یکنواخت را در حجم زیادی ایجاد می کنند. چگالی پلاسما نیز زیاد است. در حدود 1018 1 / m3 ، که منجر به شار یون قابل توجهی به سطح ویفر می شود. سپرهای فارادی اغلب برای کاهش تأثیر اتصال خازنی بین پلاسما و سیم پیچ محرک با انجام پروژه با نرم افزارcomsol اضافه می شوند. رابط پلاسما Inductively Coupled به طور خودکار اتصال جفت پیچیده ای بین الکترون ها و میدان های الکترومغناطیسی با فرکانس بالا که در این نوع پلاسما وجود دارد. تنظیم می کند. رابط پلاسما Inductively Coupled به ماژول پلاسما و ماژول AC / DC نیاز دارد.
مدل سازی پیچیده برای تجزیه و تحلیل های اولیه فرآیندهای پلاسما| انجام پروژه با نرم افزار comsol
برای تسهیل مدل سازی خود از فرآیندهای پلاسما ، یک مدل انتشار جهانی جهانی اکنون شما را قادر می سازد. قبل از بهینه سازی آنها با مدل سازی دقیق تر ، تجزیه و تحلیل های اولیه فرآیندهای خود را انجام دهید. مدل سازی جهانی با استفاده از معادلات دیفرانسیل معمولی در مدل پلاسما ، میزان آزادی مدل های شما را کاهش می دهد. این اجازه می دهد تا شیمی شیمیایی واکنش پیچیده قبل از اجرای مدلهای وابسته به فضا آزمایش و تأیید شوند. که با انجام پروژه با نرم افزار comsol امکانپذیر است.